打破國外壟斷技術：我國首條8.5代TFT-LCD玻璃基板生產線點火成功 液晶玻璃基板是如何制造的?

• 2019年6月20日 ChenJunYi來源：新華網 262 9
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6月18日，中建材旗下蚌埠玻璃工業設計研究院表示，中國第一條國產8.5代TFT-LCD玻璃基板生產線在安徽蚌埠成功點火，產品預估最快將于9月量產。

浮式法：

為目前最著名的平板玻璃制造技術，該法系將熔爐中熔融之玻璃膏輸送至液態錫床，因黏度較低，可利用檔板或拉桿來控制玻璃的厚度，隨著流過錫床距離的增加，玻璃膏便漸漸的固化成平板玻璃，再利用導輪將固化后的玻璃平板引出，再經退火、切割等后段加工程序而成。

以浮式法生產超薄平板玻璃時應控制較低之玻璃膏進料量，先將進入錫床的玻璃帶(Ribbon)冷卻至700℃左右，此時玻璃帶的黏度約為108泊(Poise;1泊= 1g/cm·sec )，再利用邊緣滾輪拉住浮于液態錫上的玻璃膏，并向外展拉后，再將玻璃帶加熱到850℃，配合輸送帶滾輪施加外力拉引而成，以浮式法技術拉制超薄平板玻璃如圖三所示。浮式法技術系采用水平引出的方式，因此比較容易利用拉長水平方向的生產線來達到退火的要求。

浮式法技術未能廣泛應用于生產厚度小于2 m m超薄平板玻璃之主要原因乃系其無法達到所要求的經濟規模。舉例來說，浮式法技術的一日產量幾乎可以滿足目前臺灣市場之月消耗量;如果用浮式法技術生產超薄平板玻璃，一般多系以非連續式槽窯(DayTank)生產，因此該槽窯設計之最適化就顯得相當重要。

流孔下引法：

就平面顯示器所需的特殊超薄平板玻璃而言，有不少廠商是使用流孔下引法技術生產，該法系以低黏度的均質玻璃膏導入鉑合金所制成的流孔漏板( Slot Bushing )槽中，利用重力和下拉的力量及模具開孔的大小來控制玻璃之厚度，其中溫度和流孔開孔大小共同決定玻璃產量，而流孔開孔大小和下引速度則共同決定玻璃厚度，溫度分布則決定玻璃之翹曲，以流孔下引法技術拉制超薄平板玻璃。

流孔下引法制程每日能生產5 ~ 2 0公噸厚度0.0 3 ~ 1.1㎜的超薄平板玻璃，因鉑金屬無法承受較高的機械應力，因此一般大多采用鉑合金所制成的模具，不過因其在承受外力時流孔常會變形，導致厚度不均勻及表面平坦度無法符合規格需求為其缺點。

流孔下引法必須要在垂直的方向上進行退火，如果將其轉向水平方向則可能會增加玻璃表面與滾輪的接觸及因水平輸送所產生的翹曲，導致不良率大增。這樣的顧慮使得熔爐的建造必須采用挑高的設計，同時必須精確的考慮退火所需要的高度，使得工程的難度大幅增加，同時也反映在建廠成本上。

溢流熔融法：

系采用一長條型的熔融幫浦(Fusion Pump)，將熔融的玻璃膏輸送到該熔融幫浦的中心，再利用溢流的方式，將兩股向外溢流的玻璃膏于該幫浦的下方處再結合成超薄平板玻璃。

利用這種成型技術同樣需要借重模具，因而熔融幫浦模具也面臨因受機械應力變形、維持熔融幫浦水平度及如何將熔融玻璃膏穩定打入熔融幫浦中的問題。因為利用溢流熔融法的成型技術所作成的超平板玻璃，其厚度與玻璃表面的質量是取決于輸送到熔融幫浦的玻璃膏量、穩定度、水平度、幫浦的表面性質及玻璃的引出量。

熔融溢流技術可以產出具有雙原始玻璃表面的超薄玻璃基材，相較于浮式法(僅能產出的單原始玻璃表面)及流孔下拉法(無法產出原始玻璃表面)，可免除研磨或拋光等后加工制程，同時在平面顯示器制造過程中，也不需注意因同時具有原始及與液態錫有接觸的不同玻璃表面，或和研磨介質有所接觸而造成玻璃表面性質差異等，已成為超薄平板玻璃成型之主流。

由于無堿玻璃有特殊成分配方且在熱穩定性、機械、電氣、光學、化學等特性及外觀尺寸、表面平整度等方面都有極為嚴格的標準規范，故其生產線調整、學習時間較長，新廠商欲加入該產業之技術門坎則較高。

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