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第一章 半導體設備行業概念界定及發展環境剖析??? 1 第一節 導體設備的概念界定及統計口徑說明? 1 一、半導體及半導體設備界定??? 1 二、半導體設備的分類?????? 1 三、本報告數據來源及統計口徑說明?????? 1 第二節 導體設備行業政策環境分析? 2 一、行業監管體系及機構??? 2 二、行業規范標準?????? 3 三、行業發展相關政策匯總及解讀??? 5 四、行業發展中長期規劃匯總及解讀?????? 6 五、政策環境對半導體設備行業發展的影響分析??? 7 第三節 半導體設備行業經濟環境分析???? 7 一、宏觀經濟現狀?????? 7 二、經濟轉型升級發展分析?????? 10 三、宏觀經濟展望?????? 12 四、經濟環境對半導體設備行業發展的影響分析??? 18 第四節 半導體設備行業社會環境分析???? 18 一、中國電子信息產業發展?????? 18 二、研發經費投入增長?????? 20 三、其他相關社會因素?????? 23 四、社會環境對半導體設備行業發展的影響分析??? 26 第五節 半導體設備行業技術環境分析???? 26 一、半導體行業技術迭代歷程??? 26 二、存儲芯片制程演進?????? 29 三、尺寸縮減及3d結構化發展 31 四、 相關專利的申請情況分析? 33 五、半導體設備行業技術發展趨勢??? 34 六、技術環境對半導體設備行業發展的影響分析??? 34 第六節 半導體設備行業發展機遇與挑戰? 34
第二章 半導體行業發展及半導體設備的地位分析??? 35 第一節 全球半導體行業發展分析???? 35 一、全球半導體行業整體規模??? 35 二、全球半導體行業應用結構分析??? 35 三、全球半導體行業產品結構分析??? 35 四、全球半導體行業區域發展分析??? 35 五、全球半導體行業發展趨勢分析??? 36 第二節 中國半導體行業發展分析???? 37 一、行業整體發展情況?????? 37 二、半導體設計業發展?????? 37 三、半導體制造業發展?????? 38 四、半導體封裝測試業發展?????? 39 五、中國半導體行業發展趨勢分析??? 40 第三節 半導體設備在半導體行業中的位置???? 43 第四節 半導體設備對半導體行業發展的影響分析? 43
第三章 全球半導體設備行業發展現狀及趨勢前景分析?? 44 第一節 全球半導體設備行業發展現狀分析???? 44 一、全球半導體設備行業發展歷程??? 44 二、全球半導體設備行業發展現狀??? 45 三、全球半導體設備行業競爭格局分析??? 48 第二節 全球主要區域半導體設備行業發展現狀分析???? 50 一、全球半導體產業轉移狀況??? 50 二、韓國半導體設備行業發展分析??? 51 三、北美半導體設備行業發展分析??? 54 四、日本半導體設備行業發展分析??? 57 第三節 全球半導體設備主要企業發展分析???? 61 一、應用材料( applied materials， inc. )?????? 61 二、泛林半導體( lam research )??? 62 三、荷蘭asml ( advanced semiconductor material lithography )?? 63 四、東京電子(tel)???? 64 第四節 全球半導體設備行業發展趨勢及經驗借鑒? 65
第四章 中國半導體設備行業發展現狀分析 68 第一節 中國半導體設備行業發展概述???? 68 一、半導體設備行業發展歷程分析??? 68 二、半導體設備行業市場特征分析??? 68 第二節 國導體設備行業進出口市場分析? 69 一、中國半導體設備行業進口市場分析??? 69 二、中國半導體設備行業出口市場分析??? 70 第三節 導體設備行業國產化進程分析???? 70 一、半導體設備行業國產化進程?????? 70 二、技術突破加速推進國產化進程??? 71 第四節 國導體設備行業在全球地位分析? 71 一、半導體設備行業市場規模分析??? 71 二、中國半導體設備市場規模占全球比重?????? 71 第五節 中國半導體設備市場供需狀況分析???? 71 一、中國半導體設備參與者類型及規模??? 71 二、中國半導體設備供給水平??? 72 三、中國半導體設備需求狀況??? 73 第六節 中國臺灣地區半導體設備行業發展分析???? 74 一、中國臺灣地區半導體行業發展情況??? 74 二、中國臺灣地區半導體設備行業發展情況??? 75 第七節 中國半導體設備行業發展痛點分析???? 76
第五章 半導體設備行業競爭狀態及競爭格局分析??? 77 第一節 半導體設備行業投資、兼并與重組分析???? 77 一、行業融資現狀?????? 77 二、行業兼并與重組??? 83 第二節 半導體設備行業波特五力模型分析???? 84 一、現有競爭者之間的競爭?????? 84 二、行業潛在進入者威脅??? 85 三、行業替代品威脅分析??? 85 四、行業供應商議價能力分析??? 85 五、行業購買者議價能力分析??? 86 六、行業競爭情況總結?????? 86 第三節 中國半導體設備行業企業競爭格局分析???? 86 第四節 中國半導體設備行業全球競爭力分析? 87
第六章 中國半導體設備行業細分市場分析 89 第一節 中國半導體設備行業構成分析???? 89 第二節 中國半導體光刻設備行業發展分析???? 89 一、半導體光刻工藝概述??? 89 二、半導體光刻技術發展分析??? 90 三、半導體光刻機發展現狀分析?????? 93 四、半導體光刻設備發展趨勢分析??? 95 第三節 中國半導體刻蝕設備行業發展分析???? 96 一、半導體刻蝕工藝概述.?? 96 二、半導體刻蝕工藝發展情況.?? 96 三、半導體刻蝕設備發展現狀分析??? 98 四、半導體刻蝕設備發展趨勢分析??? 99 第四節 中國半導體清洗設備行業發展分析???? 100 一、半導體清洗工藝概述??? 100 二、半導體清洗技術發展分析??? 101 三、半導體清洗設備發展現狀分析??? 103 四、半導體清洗設備發展趨勢分析??? 104 第五節 中國半導體薄膜沉積設備行業發展分析???? 106 一、半導體薄膜沉積工藝概述??? 106 二、半導體薄膜沉積技術發展分析??? 106 三、半導體薄膜沉積設備發展現狀分析??? 109 四、半導體薄膜沉積設備發展趨勢分析??? 110 第六節 中國導體封裝設備行業發展分析? 112 一、半導體封裝工藝概述??? 112 二、半導體封裝技術發展分析??? 112 三、半導體封裝設備發展現狀分析??? 115 四、半導體封裝設備發展趨勢分析??? 117 第七節 中國半導體測試設備行業發展分析???? 117 一、半導體測試工藝概述??? 117 二、半導體測試技術發展分析??? 118 三、半導體測試設備發展現狀分析??? 120 四、半導體測試設備發展趨勢分析??? 122 第八節 中國半導體制造其他設備發展分析???? 122 一、單晶爐設備??? 122 二、氧化/擴散設備????? 124 三、離子注入設備?????? 125
第七章 中國半導體設備行業領先企業生產經營分析?????? 129 第一節 半導體設備行業代表企業概況???? 129 第二節 導體設備行業代表性企業案例分析???? 130 一、中微半導體設備(上海)股份有限公司 130 二、北方華創科技集團股份有限公司?????? 132 三、沈陽芯源微電子設備股份有限公司??? 136 6、企業發展半導體設備業務的優劣勢分析???? 141 四、杭州長川科技股份有限公司?????? 143 五、蘇州賽騰精密電子股份有限公司?????? 146 六、盛美半導體設備(上海)股份有限公司 149 七、北京華峰測控技術股份有限公司?????? 153 八、武漢精測電子集團股份有限公司?????? 156 九、北京屹唐半導體科技有限公司??? 161 十、上海微電子裝備(集團)股份有限公司 163 十一、沈陽拓荊科技有限公司??? 165 十二、上海至純潔凈系統科技股份有限公司??? 169 十三、長春國科精密光學技術有限公司??? 175 十四、北京華卓精科科技股份有限公司??? 176 十五、中國電子科技集團有限公司??? 180
第八章 2022-2027年中國半導體設備行業發展前景預測與投資機會分析? 183 第一節 半導體設備行業投資潛力分析???? 183 一、行業生命周期分析?????? 183 二、行業發展潛力分析?????? 183 第二節 2022-2027年中國半導體設備行業供需規模預測分析???? 184 一、2022-2027年中國半導體設備行業供給規模預測分析?? 184 二、2022-2027年中國半導體設備行業需求規模預測分析?? 185 第三節 半導體設備行業發展前景預測???? 185 一、半導體設備行業發展趨勢??? 185 二、半導體設備行業發展前景預測??? 186 第四節 半導體設備行業投資特性分析???? 186 一、行業進入壁壘分析?????? 186 二、行業投資風險預警?????? 187 第五節 半導體設備行業投資價值與投資機會? 187 一、行業投資價值分析?????? 187 二、行業投資機會分析?????? 188 第六節 半導體設備行業投資策略與可持續發展建議???? 189 一、行業投資策略分析?????? 189 二、行業可持續發展建議??? 190
圖表目錄： 圖表：半導體設備中長期規劃及解讀?????? 5 圖表：半導體設備中長期規劃及解讀?????? 6 圖表：2021年半導體制造領域的pct國際專利申請前10機構? 33 圖表：全球半導體產業發展歷程?????? 45 圖表：2017-2021年全球半導體設備銷售金額及其增速?????? 46 圖表：2021年全球半導體設備銷售金額（單位：億美元）? 46 圖表：2020-2021年全球市場結構變化對比?? 47 圖表：2020-2021年細分產品結構?? 48 圖表：2021年全球半導體設備企業的競爭格局???? 50 圖表：2019-2021年韓國半導體設備行業發展規模（單位：億美元）?????? 53 圖表：2018-2020年全球十大半導體企業排名?????? 55 圖表：2019-2021年韓國半導體設備行業發展規模（單位：億美元）?????? 57 圖表：2019-2021年韓國半導體設備行業發展規模（單位：億美元）?????? 61 圖表：國家集成電路產業大基金投資方向?????? 79 圖表：2021年8月-2022年8月投資情況匯總????? 81 圖表：2021年8月-2022年8月中國半導體設備企業并購情況匯總? 83 圖表：國內半導體設備企業業務分布?????? 85 圖表：2020年各家企業創收盈利???? 86 圖標：2019年-2021年，企業中標情況? 87 圖表；2021年中國半導體設備的國產化率???? 88 圖表：2021年蝕刻設備市場規模（單位：億元）? 98 圖表：中國半導體清洗設備企業主要產品及技術??? 104 圖表：2021年國內封裝設供應規模規模（單位：億元）???? 115 圖表：國內封裝設備市場企業產能及競爭情況。??? 116 圖表：中國測試市場設備市場規模??? 121 圖表：中國氧化擴散市場設備市場規模（單位：億元）?????? 125 圖表：中國離子注入機市場設備市場規模（單位：億元）??? 127 圖表：2021年半導體設備代表企業優勢分析? 129 圖表：2019-2021年企業經營主要指標?? 130 圖表：2021年企業業務板塊收入???? 131 圖表：2019-2021年企業經營主要指標?? 133 圖表：2021年企業業務板塊收入???? 134 圖表：2019-2021年企業經營主要指標?? 137 圖表：2021年企業業務板塊收入???? 137 圖表：2019-2021年企業經營主要指標?? 143 圖表：2021年企業業務板塊收入???? 144 圖表：2019-2021年企業經營主要指標?? 147 圖表：2021年企業業務板塊收入???? 147 圖表：2019-2021年企業經營主要指標?? 150 圖表：2021年企業業務板塊收入???? 150 圖表：企業部分半導體設備優勢對比?????? 152 圖表：2019-2021年企業經營主要指標?? 153 圖表：2021年企業業務板塊收入???? 154 圖表：2019-2021年企業經營主要指標?? 156 圖表：2021年企業業務板塊收入???? 157 圖表：2019-2021年6月企業經營主要指標?? 162 圖表：2019-2021年企業經營主要指標?? 166 圖表：2021年企業業務板塊收入???? 166 圖表：2019-2021年企業經營主要指標?? 169 圖表：2021年企業業務板塊收入???? 170 圖表：2022-2027年中國半導體設備行業供給規模預測（億美元）?? 184 圖表：2022-2027年中國半導體設備行業需求規模預測（億美元）?? 185
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