MOCVD是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料,以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延,生長各種Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半導體以及它們的多元固溶體的
2020MOCVD設備行業產業發展現狀及市場未來發展前景趨勢分析
MOCVD是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料,以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延,生長各種Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。
隨著化合物半導體器件(如 GaAs MMIC、 InP MMIC以及GaN藍光LED)市場的不斷擴大,MOCVD系統的需求量不斷增長。國際上實力最為雄厚的MOCVD系統制造商有:德國Aixtron公司、美國的Emcore公司(其MOCVD已被Veeco兼并)、英國的Thomass~(1999年被Aixtron兼并)等。因為MOCVD系統最關鍵的問題就是保證材料生長的均勻性和重復性,因此不同廠家的MOCVD系統最主要的區別在于反應室結構。Aixtron采用行星反應(Planetary Reactor),Emcore采用TurboDisc反應室(該業務己出售給Veeco公司)、Thomas Swan(該公司于2003年2月份被Aixtron兼并)采用 Closed Coupled Showerhead(CCS)反應室。
國內擁有的進口MOCVD系統700臺左右,其中 Aixtron MOCVD系統和Emcore MOCVD系統占絕大多數,有少量的 Thomas Swan MOCVD系統、法國ASM MOCVD系統和日本RIPPON SANSO MOCVD系統,主要用于GaN LD/LED的研究和制造。
隨著化合物半導體器件(如 GaAs MMIC、 InP MMIC以及GaN藍光LED)市場的不斷擴大,MOCVD系統的需求量不斷增長。國際上實力最為雄厚的MOCVD系統制造商有:德國Aixtron公司、美國的Emcore公司(其MOCVD已被Veeco兼并)、英國的Thomass~(1999年被Aixtron兼并)等。因為MOCVD系統最關鍵的問題就是保證材料生長的均勻性和重復性,因此不同廠家的MOCVD系統最主要的區別在于反應室結構。Aixtron采用行星反應(Planetary Reactor),Emcore采用TurboDisc反應室(該業務己出售給Veeco公司)、Thomas Swan(該公司于2003年2月份被Aixtron兼并)采用 Closed Coupled Showerhead(CCS)反應室。國內擁有的進口MOCVD系統700臺左右,其中 Aixtron MOCVD系統和Emcore MOCVD系統占絕大多數,有少量的 Thomas Swan MOCVD系統、法國ASM MOCVD系統和日本RIPPON SANSO MOCVD系統,主要用于GaN LD/LED的研究和制造。
《2019-2025年MOCVD設備產業深度調研及未來發展現狀趨勢預測報告》由中研普華研究院撰寫,本報告對全國及海外多種相關報刊雜志以及專業研究機構公布和提供的大量資料,對我國MOCVD加熱器及各子行業的發展狀況、上下游行業發展狀況、市場供需形勢、新成果與技術等進行了分析,并重點分析了我國MOCVD加熱器行業發展狀況和特點,以及中國MOCVD加熱器行業將面臨的挑戰、企業的發展策略等。報告還對全球的MOCVD加熱器行業發展態勢作了詳細分析,并對MOCVD加熱器行業進行了趨向研判,是MOCVD加熱器開發、經營企業,科研、投資機構等單位準確了解目前MOCVD加熱器業發展動態。
報告同時還綜合了MOCVD行業的整體發展動態,對行業在產品方面提供了參考建議和具體解決辦法。對于MOCVD產品生產企業、經銷商、行業管理部門以及擬進入該行業的投資者具有重要的參考價值,對于研究我國MOCVD行業發展規律、提高企業的運營效率、促進企業的發展壯大有學術和實踐的雙重意義。
那么,想了解未來MOCVD行業將如何發展?請關注中研普華研究院報告《2019-2025年MOCVD設備產業深度調研及未來發展現狀趨勢預測報告》。
2020-2025年中國CVD行業市場發展前景預測與投資戰略規劃研究報告
化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法,是半導體工業中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術,包括大范圍的絕緣材料,大多數金屬材料和金屬合金材料S...
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