半導體表面處理設備行業市場占比較小

• 張星 2024年5月23日 來源：互聯網 912 57
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在半導體設備細分產品中，光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備為半導體設備的核心設備，分別占比為24%、20%、20%。其次為測試設備和封裝設備，分別占比9%、6%。表面處理設備在整個半導體設備中占比較小。據中研普華產業研究院測算，2023年中國半導體表面處理設備行業市場

一、半導體表面處理設備行業簡介

半導體設備主要是指用于生產各類型集成電路與半導體分立器件的專用設備，在半導體制造的工藝流程中，半導體設備扮演著至關重要的角色，同時也是半導體產業鏈上游環節市場空間最為重要的一環。目前，以半導體設備為代表的半導體產業已經成為我國的戰略性產業，它不僅是支撐我國高質量發展的戰略方向，同時也是大國間科技競爭的戰略制高點。半導體設備主要分為前道制造設備以及后道封測設備。其中，制造設備主要分為刻蝕設備、光刻設備、薄膜沉積設備、清洗設備、離子注入設備、機械拋光設備以及擴散設備;封裝設備按工藝流程主要分為劃片機、貼片機、晶圓減薄機、塑封機、引線鍵合機、切筋成型機;測試設備主要分為分選機、測試機以及探針臺。半導體表面處理設備包括清洗設備、鍍膜設備等。

二、半導體表面處理設備行業發展現狀

中國半導體設備行業的發展歷程可以追溯到20世紀50年代，當時半導體產業剛剛起步，設備主要依靠自主研發和生產。近年來，隨著人工智能、物聯網等新興技術的快速發展，半導體設備行業迎來了新的發展機遇。同時，國內政策的大力支持也為行業發展提供了有力保障。未來，中國半導體設備行業將繼續保持穩定增長態勢，并有望在全球市場上占據更大的份額。

半導體表面處理設備屬于后道設備，半導體后道測試設備是集成電路生產的重要專用設備，主要分為測試機、分選機、探針臺。測試機是檢測芯片功能和性能的專用設備，測試機對芯片施加輸入信號，采集被檢測芯片的輸出信號與預期值進行比較，判斷芯片在不同工作條件下功能和性能的有效性，分選機和探針臺是將芯片的引腳與測試機的功能模塊連接起來并實現批量自動化測試的專用設備。測試機、分選機、探針臺三者在不同環節配合使用。具體來看，設計驗證環節，三者均使用，芯片設計公司先使用測試機和探針臺對晶圓樣品進行檢測，之后再使用測試機和分選機對集成電路封裝樣品進行成品測試，驗證樣品的功能和性能的有效性。1)晶段圓制造階段CP(Chip Probe) 測試：搭配使用探針臺和測試機，是在晶圓制造完成后、進行封裝前，對晶圓上的芯片進行功能和電參數性能測試;2)封裝測試階段FT(Final Test)測試：使用分選機和測試機，是指在芯片封裝完成以后，對集成電路進行的功能和電參數性能測試，只有通過測試的芯片才會被出貨。在實際應用中，FT測試環節是必備的流程，而CP 試環節一般在制造良率偏低的情況下應用較多，以免增加封裝環節成本，或者在SiP等難以進行FT測試的復雜封裝情況下應用。

在半導體設備細分產品中，光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備為半導體設備的核心設備，分別占比為24%、20%、20%。其次為測試設備和封裝設備，分別占比9%、6%。表面處理設備在整個半導體設備中占比較小。據中研普華產業研究院測算，2023年中國半導體表面處理設備行業市場規模約為36.32億元。

圖表：2020-2023年中國半導體表面處理設備行業市場規模

半導體設備尤其是晶圓制造設備具有研發技術難度大、投入高、周期長等特點，一方面，半導體設備對質量、參數和運行穩定性等方面要求極高，另一方面，設備企業需投入大量資金用于研發和購買原材料與零部件，下游客戶認證后不會輕易更換廠商，因此具有一定的客戶黏性，取得先發優勢的企業更易保持與鞏固優勢。因此，半導體設備行業具有極高的行業門檻和壁壘。

從行業競爭格局看，全球半導體設備的市場集中度極高，單一設備的主要生產廠商一般不超過五家。得益于長期的研發投入、技術積累和市場經驗，美國、日本和荷蘭企業在生產技術和市場份額等方面保持領先，代表性廠商包括應用材料(美國)、阿斯麥(荷蘭)、泛林半導體(美國)和東京電子(日本)等，后來者追趕難度較大。

半導體設備是集成電路產業鏈自主可控的核心環節，經過數年發展，我國半導體設備國產化已取得一定進展，尤其是對 28nm 及以上制程的工藝覆蓋日趨完善，在去膠、CMP、刻蝕和清洗設備市場的國產化率已突破雙位數，成長邊界不斷拓寬。然而，我國在光刻機、量測檢測設備、離子注入機和涂膠顯影設備等領域的國產化率仍在 10%以下，整體國產化率處于較低水平，半導體設備尤其是高端設備的國產替代進程任重而道遠。

《2024-2029年中國半導體設備行業現狀分析與發展前景預測報告》由中研普華產業研究院撰寫，本報告對該行業的供需狀況、發展現狀、行業發展變化等進行了分析，重點分析了行業的發展現狀、如何面對行業的發展挑戰、行業的發展建議、行業競爭力，以及行業的投資分析和趨勢預測等等。報告還綜合了行業的整體發展動態，對行業在產品方面提供了參考建議和具體解決辦法。

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