凱美特氣光刻氣或成ASML供應商 國內電子特氣廠商遇良機

• 黃江 2023年2月6日 來源：新浪 641 37
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根據產業研究院的統計2020年中國電子特氣應用市場結構，集成電路制造占比最高，約占總體電子特氣市場的44%。顯示面板領域占比約35%，太陽能電池領域占比約13%，LED及其他領域占比約8%。隨著半導體行業的快速發展，電子特氣的種類、數量仍在不斷增加。

電子特種氣體(簡稱電子特氣)，是指用于半導體、平板顯示及其它電子產品生產的特種氣體。電子特種氣體(即電子特氣)又主要包括惰性氣體，硅族氣體，鹵化物或鹵化物氣體，含硼、磷、砷等原子的氣體，以及氟碳氣體，種類繁多。在整個半導體行業的生產過程中，從芯片生長到最后器件的封裝，幾乎每一個環節都離不開電子特氣，而且所用氣體的品種多、質量要求高，所以電子氣體又有半導體材料的“糧食”之稱。

凱美特氣光刻氣或成ASML供應商

湖南凱美特氣體股份有限公司 (以下簡稱 " 凱美特氣 ")發布公告稱，公司控股子公司岳陽凱美特電子特種稀有氣體有限公司(以下簡稱 " 岳陽凱美特 ")光刻氣產品獲得 ASML 子公司 Cymer 公司合格供應商認證。

根據公告，岳陽凱美特生產于 2 月 2 日收到 Cymer 公司發來的合格供應商認證函，岳陽凱美特生產的光刻氣產品通過了 Cymer 公司審查，Cymer 公司已將凱美特電子特種氣體公司光刻氣產品列入合格供應商名單。

資料顯示，ASML 子公司 Cymer 是世界領先的準分子激光源提供商，是深紫外技術的行業領導者，是 ASML 集團內一家獨立運營的企業。

Cymer 公司發明了如今半導體制造中最關鍵的光刻技術所需的深紫外(DUV)光源，開發、制造和服務深紫外(DUV)光源。

產品組合包括使用氟化氬(ArF)或氟化氪(KrF)氣體產生深紫外光的準分子激光器。

凱美特氣表示，公司光刻氣產品通過 Cymer 公司的合格供應商認證，是 Cymer 公司對公司在光刻氣生產領域的生產能力、產品質量的認可，也是公司先進的產品生產技術、鋼瓶內壁處理技術、氣體分析技術等各方面綜合實力、競爭優勢的體現。

國內電子特氣廠商遇良機

電子特氣在集成電路、顯示面板、化合物半導體器件等電子工業生產中是不可或缺的原材料。根據產業研究院的統計2020年中國電子特氣應用市場結構，集成電路制造占比最高，約占總體電子特氣市場的44%。顯示面板領域占比約35%，太陽能電池領域占比約13%，LED及其他領域占比約8%。隨著半導體行業的快速發展，電子特氣的種類、數量仍在不斷增加。

電子氣體廣泛應用于半導體制程工藝，電子大宗氣體通常用于氣體稀釋、腔體清潔、腔體排氣等環節。不同類型的電子特氣根據不同的物理化學性質應用于不同的工藝環節，包括沉積、光刻、刻蝕、擴散、退火等關鍵工序?？梢哉f，電子氣體幾乎用于集成電路制造的每一個環節，是集成電路制造的血液。

電子氣體的生產過程包括分析檢測、合成、提純、充裝、混合配比等多個工藝流程。為了滿足下游半導體制造的純度和雜質含量要求，提純工藝非常重要，根據上游合成氣或原料氣組成，進行低溫精餾或多級純化。

在氣體制備過程中，需要同時滿足高潔凈度、高密封性、高穩定可靠性的要求。潔凈度方面，上游合成制備屬于化工生產過程，無特殊潔凈度要求，氣體經過提純后，進行氣體沖入和混合制備需要滿足下游集成電路制造工藝的標準規范。密封性方面，由于具有化學活性，電子氣體，尤其是電子特氣在生產過程中對系統材料與半導體制造要求保持一致，防止引入雜質或氣體腐蝕引起泄漏、污染等危害。穩定可靠性方面，電子特氣的品質指標包括純度、雜質顆粒含量等，指標的任何變化都會影響下游半導體制造的結果。因此，為保證電子特氣產品的一致性，對氣體制備工藝系統的控制指標穩定性要求也非常重要。

在氣體經過化學反應或經過物理提純后，充裝至鋼瓶、儲罐等容器后銷售給下游客戶。

根據中研普華研究院《2023-2028年中國電子特氣行業發展趨勢及投資預測報告》顯示：

從產業鏈來看，工業氣體行業的原材料是空氣、工業廢氣、基礎化學原料等，其上游是氣體分離及純化設備制造業、基礎化學原料行業、壓力容器設備制造業等。下游領域包括冶金、化工、機械制造等傳統行業，以及半導體、顯示面板、LED、光伏、醫療健康、光纖光纜等新興行業。

電子氣體是現代工業之基石，被譽為晶圓制造之 " 血液 "，下游廣泛應用于集成電路、面板、醫療、光纖等新興行業和冶金、化工等傳統行業。

電子特氣在半導體晶圓制造應用中占比約 70%，其次是面板顯示市場占比約 20%。

除此之外，電子特氣還廣泛應用于 LED、太陽能電池、醫療健康等領域。

在集成電路等高端領域，電子氣體被液化空氣集團、林德集團、大陽日酸、日本昭和電工等國外氣體公司壟斷，國內廠商市場份額較小。

然而，近年來，隨著全球晶圓廠的加速擴建以及產能的逐步釋放，下游市場對電子特種氣體的需求廣闊。

另外，隨著中國半導體制造的崛起，也加速推動了半導體材料的國產化進程。

有數據顯示，2017-2021 年，中國特種氣體市場規模從 175 億元增至 342 億元，年復合增速達 18%，預計到 2026 年中國特種氣體行業的市場規模將達到 808 億元，2021-2026 年復合增長率為 18.76%。

據悉，凱美特氣并否國內首家獲得 ASML 認證的電子特氣廠商，在此之前，國內另一家電子特氣上市公司華特氣體自主研發的 Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne 和 Kr/F/Ne4 種混合氣已于 2017 年得到 ASML 的認證。

此外，國內上市公司杭氧股份、金宏氣體、 南大光電等也均在逐鹿高端電子特氣領域。

《2023-2028年中國電子特氣行業發展趨勢及投資預測報告》由中研普華研究院撰寫，本報告對該行業的供需狀況、發展現狀、行業發展變化等進行了分析，重點分析了行業的發展現狀、如何面對行業的發展挑戰、行業的發展建議、行業競爭力，以及行業的投資分析和趨勢預測等等。報告還綜合了行業的整體發展動態，對行業在產品方面提供了參考建議和具體解決辦法。

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